Verfahren und Vorrichtung zum Vermessen des Strahlprofils eines Laserstrahls, Laserbearbeitungsmaschine

摘要

Die Erfindung schafft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Vermessen des Strahlprofils eines Laserstrahls (111) innerhalb einer Laserbearbeitungsmaschine (100). Der Laserstrahl (111) wird auf einen Detektor (130) gerichtet und die auftreffende Strahlungsleistung gemessen. Ein Abschattungselement (140), welches eine Vorderkante (141) aufweist, wird mittels einer Positioniereinrichtung (138) in den Strahlengang des Laserstrahls (111) bewegt, so dass im Verlauf der Bewegung die Vorderkante (141) den Laserstrahl (111) in seiner gesamten transversalen Ausdehnung durchdringt und somit die von dem Detektor (130) gemessene Strahlungsleistung von der Position des Abschattungselements (140) abhängt. Mittels einer Auswerteeinheit (160a) wird die von dem Detektor (130) gemessene Strahlungsleistung in Abhängigkeit von der Position des Abschattungselements (140) erfasst. Durch ein Ableiten der erfassten Messkurve (480) erhält man eine Auswertekurve (481), welche das Strahlprofil widerspiegelt. Durch eine Verfahrbewegung des Abschattungselements (140) entlang verschiedener Bewegungsrichtungen in Verbindung mit einer zu der jeweiligen Bewegungsrichtung senkrechten Orientierung einer Kante (141) des Abschattungselements kann das Strahlprofil des Laserstrahls (111) zweidimensional ermittelt werden.