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发明名称 APPARATUS FOR HEATING SOURCE
摘要
申请公布号 KR20060010570(A) 申请公布日期 2006.02.02
申请号 KR20040059318 申请日期 2004.07.28
申请人 SUNIC SYSTEM. LTD. 发明人 YONG, JEONG SOO;KIM, SANG WOO;PARK, YEONG HO;LEE, EUNG JIK
分类号 C23C16/46;H01L21/00 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
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