SCHNELLE WÄRMEBEHANDLUNGSANLAGE MIT UMLAUFENDEM SUBSTRAT,申请号DE19986033018-传众专利搜索

发明名称	SCHNELLE WÄRMEBEHANDLUNGSANLAGE MIT UMLAUFENDEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号	DE69833018(D1)	申请公布日期	2006.02.02
申请号	DE19986033018	申请日期	1998.10.23
申请人	MATTSON THERMAL PRODUCTS GMBH	发明人	BLERSCH, WERNER;GRUENWALD, PETER;MAURER, MICHAEL;MERKLE, HELMUT;THEILER, THOMAS;WALK, HEINRICH
分类号	H01L21/26;H01L21/00	主分类号	H01L21/26
代理机构		代理人
主权项
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