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发明名称 WAFER TRANSFER ARM ASSEMBLY OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060010154(A) 申请公布日期 2006.02.02
申请号 KR20040058758 申请日期 2004.07.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 BONG, SUNG JONG;EOM, HONG KUK;LEE, DONG HO;CHO, SANG CHUL
分类号 H01L21/265;H01L21/68 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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