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发明名称 METHOD FOR FORMING A LAYER IN A SEMICONDUCTOR DEVICE AND APPARATUS FOR PERFORMING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100550351(B1) 申请公布日期 2006.02.02
申请号 KR20040071253 申请日期 2004.09.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 BAEK, EUN KYUNG;NA, KYU TAE;RHA, SANG HO
分类号 H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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