Optische Halbleiterbauteile und Herstellverfahren für diese

摘要

Bei einem Trockenätzschritt für einen Film aus organischem Material wird ein fluorhaltiges Element (601) am Umfang eines Halbleitersubstrats (502) angeordnet, das sich auf einer unteren Elektrode (504) oder einer Schale für den Wafertransport befindet, um mittels dieses Elements Fluor (Fluorradikale) zusätzlich zu dem Ätzgas zugesetzten Fluorgas zu erzeugen, um Reaktionsprodukte, die sich auf dem Halbleitersubstrat abgeschieden haben, effizient und stabil zu entfernen.