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发明名称 Verfahren zum Reduzieren von Kontaktdefekten in Halbleiterzellen
摘要
申请公布号 DE10393870(T5) 申请公布日期 2006.02.02
申请号 DE20031093870T 申请日期 2003.09.24
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 HUI, ANGELA T.;LI, WENMEI;TU, AMY C.
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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