发明名称 substrate accommodating tray
摘要
申请公布号 KR100548745(B1) 申请公布日期 2006.02.02
申请号 KR20030082075 申请日期 2003.11.19
申请人 发明人
分类号 G02F1/13;B65D85/48;H01L21/673 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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