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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND METHOD OF MANUFACTURING A SHALLOW TRENCH ISOLATION USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR100550346(B1)
申请公布日期
2006.02.02
申请号
KR20040066589
申请日期
2004.08.24
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, HONG GUN;HONG, EUN KEE;NA, KYU TAE
分类号
H01L21/762
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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