发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND METHOD OF MANUFACTURING A SHALLOW TRENCH ISOLATION USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100550346(B1) 申请公布日期 2006.02.02
申请号 KR20040066589 申请日期 2004.08.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, HONG GUN;HONG, EUN KEE;NA, KYU TAE
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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