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经营范围
发明名称
Structure of test element group
摘要
申请公布号
KR100549347(B1)
申请公布日期
2006.02.02
申请号
KR20030060588
申请日期
2003.08.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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