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发明名称
Device for supporting wafer of vertical diffusion furnance for semiconductor element manufacture
摘要
申请公布号
KR100548995(B1)
申请公布日期
2006.02.02
申请号
KR19990040129
申请日期
1999.09.17
申请人
发明人
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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