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发明名称
VERFAHREN ZUR TROCKNUNG EINES SUBSTRATS
摘要
申请公布号
DE69921510(T2)
申请公布日期
2006.02.02
申请号
DE19996021510T
申请日期
1999.08.10
申请人
TOHO KASEI LTD., YAMATOKOURIYAMA;DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
发明人
MAEDA, NORIO;SUMI, KOJI;AIHARA, HIROSHI;OONO, MASAO;IZUTANI, NAOAKI
分类号
H01L21/304;B05B7/04;B08B3/04;F26B21/00;H01L21/00
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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