复型薄膜装置之制造

摘要

本发明为一种形成复数个薄膜装置的方法。该方法包括将一可挠性基材上之至少一种薄膜材料粗略地图案化，和以自我对准压印微影技术(SAIL)制程在该可挠性基材上形成复数个薄膜元件。