带电粒子束系统用之基板处理装置

摘要

本发明揭示一种带电粒子束系统之基板操作装置。一电子束平版印刷系统包含一主室(4)与交换室(5)，以闸阀(7)连结。一自动装置(15)系用于在卡匣(10)与雷射干涉仪反射镜(13)间调整携带半导体晶片之卡盘(8)，自动装置包含一横杆(17)与一侧室(18)，由横杆侧面伸出以支撑卡盘。