基板处理装置

摘要

本发明之目的为确保对基板处理装置作业时作业员之安全性，并且提高装置之运转率。依本发明之基板处理装置，系于壳体内具有可收纳基板之基板用单元以及将基板搬运至该基板用单元之基板搬运单元，该基板处理装置包括：外壁面板，位于与基板用单元相对的位置，可从壳体自由地卸下；阻断机构，可将壳体内之第1空间(配置有基板用单元，当卸下前述外壁面板时会对壳体外部开放)及第1空间以外的第2空间(配置有基板搬运单元)隔开；阻断机构作动构件，用以使阻断机构驱动以隔开第1空间与第2空间；连锁机构，用以于外壁面板卸下时，使壳体内整体的动作停止。并且，具有连锁失效机构，用以在阻断机构将第1空间与第2空间隔开时，使连锁机构失效。