| 摘要 |
本发明系有关一种旋转震动式的单向凝固单晶生长系统与方法，尤指一种利用不小于0.2赫兹的震动频率进行震动、均匀的旋转加热，达到增进单晶品质与强化界面稳定性的单晶生长系统与方法。本发明之一种旋转震动式的单向凝固单晶生长系统，包含：一炉管，系垂直设置，以提供不同温度的环境；一坩埚，系位于该炉管内，并呈与炉管同轴心的垂直排列；以及一旋转震动装置，系包括一支撑台、一马达与一震动装置，且连接该坩埚，并对坩埚进行旋转震动；其中，该炉管更包含一高温部、一绝热部与一低温部，该高温部提供一高温状态，该低温部提供一低温状态，高温状态提供大于原料物质之熔点的温度，以进行加热的程序，低温状态提供小于原料物质之熔点的温度，以进行结晶的程序，因此，得以提供不同温度的环境，以进行不同的程序。 |
