用于形成碳奈米管之电浆强化化学气相沉积系统

摘要

一种使用电浆强化化学气相沉积形成碳奈米管之系统，乃使用于系统制程室内，以不同组态耦合至电极之一或多个射频与直流电源。藉由施加足够直流电压至一或多个电极，本发明之系统允许生长较笔直，且具有改进之电子性能特征之碳奈米管。