薄膜电晶体及其电路的制作方法

摘要

一种于基板上制作薄膜电晶体的方法，基板之表面包含有闸极电极与闸极绝缘层，先利用被氢气所稀释之矽甲烷进行一沉积制程，于闸极绝缘层之上形成含矽薄膜，再利用氢气作为反应气体进行一电浆蚀刻制程，接着至少重复沉积以及蚀刻制程一次以形成介面层，最后于介面层之上形成非晶矽层、掺杂半导体层、源极以及汲极电极。