光学微距校正方法

摘要

本发明揭露一种光学微距校正(OPC)方法，包括在侦测第一元件图案之一端点，该端点接近第二元件图案之一端点，再将朝向第一方向之第一OPC图案加到第一元件图案上；以及将朝向第二方向之第二OPC图案加到第二元件图案上，且第二方向大体上与第一方向相反。