供反射光罩用之低膨胀玻璃基板,及反射光罩

摘要

一种供反射光罩用之低膨胀玻璃基板，其中该玻璃基板适合用为半导体制作中平版刻法中所用反射光罩之基底材料，包括沿其外周缘形成的一侧表面，一削角部份和一切口部份，该侧表面，削角部份和切口部份中至少一者装有一面镜整饰表面。