发明名称 电路基板之检查装置及电路基板之检查方法
摘要 提供一种即使为属于检查对象之被检查电路基板具有微细间距之微小电极,亦可以执行信赖高之电性检查,且即使于连续性检查电路基板之时,亦可以流畅执行检查作业的电路基板之检查装置。中继插销元件31是具备有中间保持板36;被配置在第1绝缘板34和中间保持板36之间的第1支撑插销33;和被配置在上述第2绝缘板35和中间保持板36之间的第2支撑插销37,并且,相对于第1支撑插销之中间保持板的第1抵接支撑位置,和相对于第2支撑插销之中间保持板的第2抵接支撑位置,是被配置在投影于中间保持板之厚度方向的中间保持板投影面不同的位置上。再者,依据设置在第1或者第2绝缘板和中间保持板之间的弯曲保持板84将导电插销32推压于横方向,藉此导电插销32被支撑成可移动在轴方向。
申请公布号 TW200604548 申请公布日期 2006.02.01
申请号 TW094121022 申请日期 2005.06.23
申请人 JSR股份有限公司 发明人 木村洁;下田杉郎;铃木聪
分类号 G01R31/303 主分类号 G01R31/303
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本