| 摘要 |
不使用干涉计，而使用空间性具有随机构造之斑点图像等所算出的拟似相位资讯，可非接触且高精度地检测物体的微小变位或3维形状。取得变位前之被检体之频谱影像，将其做N维傅利叶转换，而算出空间频率频谱，将包含此振幅分布的零频率之半平面内的频率频谱振幅设定为零，而将剩余之半平面内的频率频谱振幅做傅利叶逆转换而取得复变分析讯号。然后，将此复变分析讯号的振幅值置换为一定值，取出所获得的分析讯号的一部份区域，且藉由相位限定相关函数算出相位资讯，以获得N维之相互相关峰值。也对被检体之变位后进行前述方法，藉由求得变位前后之相互相关峰值的差量，可以求得变位量。 |
