检测装置及载物台装置

摘要

本发明系有关于一种用来检测高精度地移动之载物台之状态的检测装置及载物台装置，其目的在于提供一利用形状容易制造的基准格子能够检测出载物台之5个自由度的状态，且能够提高检测的精度之检测装置及载物台装置。藉由备有：朝基准格子照射光的光源部、藉由多个开口部将光分光为多个光的分光手段、及可一次地接受多个反射光之受光元件的检测手段，可根据多个反射光的变化来检测基准格子的状态。