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发明名称
具有分离闸极装置之记忆体以及其制造方法
摘要
本发明说明了一种不依赖通过一绝缘层上覆矽(SOI)基材的一绝缘层之电场而采用单体装置作为记忆单元的在该SOI基材上制造之DRAM。以各被正交配置的线界定各浮体装置,而系在该绝缘层上形成每一浮体的一前闸极及背闸极。
申请公布号
TW200605232
申请公布日期
2006.02.01
申请号
TW094109660
申请日期
2005.03.28
申请人
英特尔股份有限公司
发明人
彼得 张
分类号
H01L21/336;H01L29/786
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
美国
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