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发明名称
制造结构的方法
摘要
一种用于制造结构的方法,其包括将一溶液沉积在一表面上,以及以微波照射该溶液用以在表面上将溶液之溶质结晶。
申请公布号
TW200605197
申请公布日期
2006.02.01
申请号
TW094118558
申请日期
2005.06.06
申请人
惠普研发公司;俄勒冈州立大学
发明人
赫曼;玛德洛维斯 彼得;贝贝特 青梅;张志宏;张玉珍;李斗铉;霍斯金
分类号
H01L21/208;C30B7/00
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
恽轶群;陈文郎
主权项
地址
美国
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