用以控制腔室清理制程的方法与处理系统

摘要

一种用以在处理室中控制放热腔室清理制程之方法与系统。该方法包含下列步骤：在腔室清理制程中，使系统元件暴露于清理气体，以自系统元件移除材料沈积物；监测在腔室清理制程中之至少一温度相关系统元件参数；自监测步骤决定系统元件之清理状态；以及基于来自决定步骤之状态，执行下列其中之一：(a)继续暴露步骤与监测步骤，或(b)停止制程。