| 摘要 |
本发明乃一种薄片状探针及其制造方法以及其应用，其课题为提供在于微小且微细间隔之电极的电路装置中，可达成安定之连接状态，电极构造体不曾由绝缘膜脱落，可得高耐久性，对于大面积之晶圆或被检查电极之间隔为小的电路装置，于预烧试验中，可确实防止温度变化所成电极构造体和被检查电极的位置偏移，安定维持良好之连接状态的薄片状探针及该制造方法。其解决手段为本发明之薄片状探针乃具有绝缘层，和备有于此绝缘膜，向该面方向，相互间隔配置，贯通于该绝缘层之厚度方向延伸之复数之电极构造体的接点膜的薄片状探针，其特征为前述各电极构造体乃由露出于前述绝缘层之表面，从该绝缘层之表面突出，伴随从该基端朝向前端，呈渐成小口径形状的表面电极部，和露出于前述绝缘层之背面之背面电极部，和从前述表面电极部之基端连续地，将前述绝缘层向该厚度方向贯通延伸，连结于前述背面电极部之短路部所成，前述表面电极部之基端口径较与前述短路部之表面电极部接触侧端之口径为大，前述短路部之厚度乃较前述绝缘膜之厚度为大者。 |
