层排列、场效应电晶体及制造层排列方法

摘要

本发明关于一种层排列，其具基材、具于该基材上的半导体层、具于该半导体层中的沟渠、具在该沟渠侧壁及基底的电绝缘材料及具于该沟渠中电绝缘材料上包含碳的材料。