具有分隔压力室为复数个压力区之阻障物之化学机械研磨装置之承载头

摘要

本发明揭示一种化学机械研磨装置之承载头，其具有一支撑件、一紧固于该支撑件且与该支撑件之底面相隔离之弹性膜，用以界定在该薄膜与该支撑件底面之间之一压力室；及至少一自该支撑件底面延伸出之弹性材料之环形阻障物。各阻障物具有一环形分割部分，其延伸穿过该压力室，且将该压力室分隔为在其相对侧面上之各压力区，及一环形接触部分，其与该薄膜邻接，使得该阻障物与该薄膜接触但并非固定地附着其上。该接触部分包括一对在该分割部分之下端向相反方向横向延伸之环形凸缘。