减少应力导致孔洞形成之线路结构

摘要

一种具改良式电阻于孔洞形成之线路结构及其制造方法。线路结构具有第一导电层，第一导电层包括一大区域部分，连接于突出部之一端，而突出部具有复数个「n」重叠部分与至少一弯曲部分。突出部之另一端连接介层窗之底部，介层窗之上具有一第二导电层。弯曲部是由重叠两相邻重叠部分之该端而形成，且其具有一角度介于45°至135°。突出部也可包括至少一延伸部，位于向着一弯曲部之一部分中。弯曲部分与延伸部是用做为障碍物，以延缓晶格空缺由大区域部分扩散至介层窗之附近地区，特别是有用于铜内连线或用在介层窗测试结构。