发明名称 脉冲式质量流动传送系统与方法
摘要 一种传送期望质量气体的系统,包括一室、一控制气体流入该室之第一阀、一控制气体流出该室之第二阀、一连接该室之压力转换器、一提供待传送之期望质量之输入装置、及一连接至诸阀、压力转换器及输入装置之控制器。控制器被程式设计以接受来自输入装置之期望质量,关闭第二阀及打开第一阀,接受来自压力转换器之室压测量值,及当室内之压力达到一预定程度时,关闭进入阀。控制器随后被程式设计以等待一预定之等待期间,使在室内之气体达到一平衡状态,且在时间=t0时,开启出口阀,及在时间=t^﹡且当所排出之气体质量等于期望质量时,关闭出口阀。
申请公布号 TW200604464 申请公布日期 2006.02.01
申请号 TW094111275 申请日期 2005.04.11
申请人 MKS公司 发明人 薛亚里;那德国;贝麦特;克拉克;史丹尼;亚柏诺
分类号 F17D1/02;F17D3/18 主分类号 F17D1/02
代理机构 代理人 黄庆源;陈彦希
主权项
地址 美国