反应腔室泄漏的检测方法以及蚀刻/沈积制程

摘要

一种反应腔室泄漏的检测方法，此方法系首先在一反应腔室中通入一气体，且所通入之气体系以全流量之条件通入反应腔室中。之后，量测反应腔室中之压力是否异常，即可判断出反应腔室是否有泄漏。若有泄漏之情形发生，外界的空气将会进入反应腔室中而使反应腔室之压力提高，如此即可判断出反应腔室有泄漏。