薄膜形成方法

摘要

其课题为更确实更简易地使规定之薄膜形成区域之薄膜膜厚予以均匀化。其解决手段为将液体材料以液滴吐出而在基板20上形成薄膜的薄膜形成方法，其特征为：依据将上述液体材料吐出在比薄膜形成区域A宽广之液体材料配置区域B上，并使上述液体材料予以乾燥，将上述薄膜端部的隆起部分H1配置在上述薄膜形成区域A外。