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发明名称
氰金刚烷系化合物及聚合物以及包括该聚合物之光阻剂
摘要
提供金刚烷基化合物，包括该等化合物之聚合化单元之聚合物，以及包括该等聚合物之光阻组成物。本发明之较佳聚合物使用于波长短于250nm，如248nm及193nm，之光阻成像。094106750-p01.bmp
申请公布号
TW200604740
申请公布日期
2006.02.01
申请号
TW094106750
申请日期
2005.03.07
申请人
罗门哈斯电子材料有限公司
发明人
裴荣;卡拿那
分类号
G03F7/039;H01L21/027
主分类号
G03F7/039
代理机构
代理人
洪武雄;陈昭诚
主权项
地址
美国
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