液滴涂布方法,液滴涂布装置及光电装置,以及电子机器

摘要

本发明的课题是在于提供一种可确保高度精度，且可取得微细径的柱状体之液滴涂布方法。亦即，喷出液滴L，涂布于基板L。重复进行对涂布后的液滴L1赋予光能量之步骤；及在赋予光能量的液滴L1上重叠下个液滴L2而涂布之步骤。