光阻溶液之分配方法与系统

摘要

一种溶液之分配设备与方法，用以将一溶液分配到一基板之上，其中在基板旋转时藉由一溶液喷嘴组件分配溶液。在分配溶液时，基板之上的溶液系形成放射状地从基板之中心传播到基板之边缘的一波前。采足以在任一时间点将溶液分配到实质等同于或小于波前之径向地点的一径向地点之一方式进行溶液的分配。