投影光学系统及图案描绘装置

摘要

本发明之投影光学系统6具备：第1镜构件61，其为弯片形透镜612，此透镜形成有以基准点P1为中心的凹面镜611，作为背面镜；以及第2镜构件62，其为弯月形透镜622，此透镜在基准点P1与第1镜构件61间，形成大致以基准点P1为中心的凸面镜621，作为背面镜。来自物体侧的光平行于中心轴J1而射入第1镜构件61，于凹面镜611、凸面镜621、凹面镜611被反射，平行于中心轴J1地导出而形成像。藉此，于凹面镜与凸面镜间反射三次的投影光学系统6中，可以弯月形透镜612、622抑制像差。