| 主权项 |
1.一种陶瓷气体感测器,其包含有: 一反应层,系一基板,其一端设置一反应区,该基板 具有一上表面与一下表面,该反应区含有一反应薄 膜与复数个导通孔,该反应薄膜系由一感测材料所 形成,该反应薄膜覆盖于该基板的该上表面并连接 于该导通孔,该导通孔贯穿该基板之该上表面与该 下表面,且于该导通孔内填有用以形成该反应薄膜 之该感测材料; 一上电极,系贴附于该反应薄膜上; 一下电极,贴附于该基板的该下表面并且连接于该 导通孔;及 一陶瓷腔体层,系间隔该下电极设置于该反应层的 该下表面,该陶瓷腔体层具有与外部环境导通的一 空腔体,该空腔体邻接于该下电极。 2.如申请专利范围第1项所述之陶瓷气体感测器,其 中该感测材料系选自钙安定氧化锆、钇安定氧化 锆、镱安定氧化锆、钒安定氧化锆及钐安定氧化 锆。 3.如申请专利范围第1项所述之陶瓷气体感测器,其 中该基板系选自氧化锆基板、氧化铝基板、氧化 锆混合氧化铝基板及氧化锆混合氧化镁基板。 4.如申请专利范围第1项所述之陶瓷气体感测器,其 中该上电极系选自白金、金、银及其合金。 5.如申请专利范围第1项所述之陶瓷气体感测器,其 中该下电极系选自白金、金、银及其合金。 6.如申请专利范围第1项所述之陶瓷气体感测器,其 中更包含一加热元件,贴附于该上电极。 7.如申请专利范围第6项所述之陶瓷气体感测器,其 中该加热元件为一含加热电极之基板。 8.如申请专利范围第7项所述之陶瓷气体感测器,其 中该加热电极系选自白金、钨、钼及其金属氧化 物。 9.如申请专利范围第1项所述之陶瓷气体感测器,其 中更包含一温度感测元件,贴附于该陶瓷腔体层。 10.如申请专利范围第9项所述之陶瓷气体感测器, 其中该温度感测元件为一含温度感测电极之基板 。 11.一种陶瓷气体感测器,其包含有: 复数个陶瓷气体感测元件,其包含: 一反应层,系一基板,其一端设置一反应区,该基板 具有一上表面与一下表面,该反应区含有一反应薄 膜与复数个导通孔,该反应薄膜系由一感测材料所 形成,该反应薄膜覆盖于该基板的该上表面并连接 于该导通孔,该导通孔贯穿该基板之该上表面与该 下表面,且于该导通孔内填有用以形成该反应薄膜 之该感测材料; 一上电极,系贴附于该反应薄膜上; 一下电极,贴附于该基板的该下表面并且连接于该 导通孔; 一陶瓷腔体层,系间隔该下电极设置于该反应层的 该下表面,该陶瓷腔体层具有与外部环境导通的一 空腔体,该空腔体邻接于该下电极; 一个以上之加热元件,系间隔设置于该气体感测元 件之间;及 一温度感测元件,设置于该陶瓷气体感测元件之底 部。 12.如申请专利范围第11项所述之陶瓷气体感测器, 其中该感测材料可选自钙安定氧化锆、钇安定氧 化锆、镱安定氧化锆、钪安定氧化锆及钐安定氧 化锆。 13.如申请专利范围第11项所述之陶瓷气体感测器, 其中该基板系选自氧化锆基板、氧化铝基板、氧 化锆混合氧化铝基板及氧化锆混合氧化镁基板。 14.如申请专利范围第11项所述之陶瓷气体感测器, 其中该上电极系选自白金、金、银及其合金。 15.如申请专利范围第1项所述之陶瓷气体感测器, 其中该下电极系选自白金、金、银及其合金。 16.如申请专利范围第11项所述之陶瓷气体感测器, 其中该复数个陶瓷气体感测元件包含浓淡式氧气 感测器与限界电流式氧气感测元件。 17.如申请专利范围第11项所述之陶瓷气体感测器, 其中该加热元件为一含加热电极之基板。 18.如申请专利范围第17项所述之陶瓷气体感测器, 其中该加热电极系选自白金、钨、钼及其金属氧 化物。 19.如申请专利范围第11项所述之陶瓷气体感到器, 其中该温度感测元件为一含温度感测电极之基板 。 图式简单说明: 第1图为本发明第一实施例之结构示意图;及 第2图为本发明第二实施例之结构示意图。 |
