| 主权项 |
1.一种消除极化相关性之光谱量测装置,包含: 一光源,可产生一光束; 一第一镜片,可准直该光束; 一极化相位延迟元件,设置于该光束之光路上,可 调整该光束之一预定部分的极化角度; 一波长分离元件,可将该光束分离成不同波长之子 光束;以及 一光侦测器,用以侦测该子光束之强度。 2.如申请专利范围第1项之消除极化相关性之光谱 量测装置,其中该极化相位延迟元件系一半波相位 延迟波片。 3.如申请专利范围第1项之消除极化相关性之光谱 量测装置,其中该极化相位延迟元件系一消色差半 波相位延迟波片。 4.如申请专利范围第1项之消除极化相关性之光谱 量测装置,其中该波长分离元件系一具有复数条刻 痕之绕射光栅,该极化相位延迟元件具有一光轴, 且该光轴与该刻痕之夹角为45度。 5.如申请专利范围第1项之消除极化相关性之光谱 量测装置,其中该极化相位延迟元件将通过之光束 的极化方向偏转90度。 6.如申请专利范围第1项之消除极化相关性之光谱 量测装置,其中该预定部分系该光束之一半。 7.如申请专利范围第1项之消除极化相关性之光谱 量测装置,其中该极化相位延迟元件系设置于该光 源与该第一镜片之间。 8.如申请专利范围第1项之消除极化相关性之光谱 量测装置,其中该极化相位延迟元件系设置于该第 一镜片与该波长分离元件之间。 9.如申请专利范围第1项之消除极化相关性之光谱 量测装置,其中该第一镜片系一球面镜、一抛物面 镜或一消色差二合镜片。 10.如申请专利范围第1项之消除极化相关性之光谱 量测装置,其另包含一光束限制元件,设置于该光 源与该第一镜片之间。 11.如申请专利范围第10项之消除极化相关性之光 谱量测装置,其中该光束限制元件系一光狭缝或一 光纤纤核。 12.如申请专利范围第1项之消除极化相关性之光谱 量测装置,其另包含一第二镜片,设置于该波长分 离元件与该光侦测器之间。 13.一种极化相关性之消除方法,其系藉由将一极化 光束之一预定部分的极化方向偏移90度以消除其 极化相关性。 14.如申请专利范围第13项之极化相关性之消除方 法,其中该预定部分系一半。 15.如申请专利范围第14项之极化相关性之消除方 法,其系藉由将该极化光束之一半通过一极化相位 延迟元件以将其极化方向偏移90度。 16.如申请专利范围第15项之极化相关性之消除方 法,其系一消色差半波相位延迟波片。 17.如申请专利范围第15项之极化相关性之消除方 法,其系一半波相位延迟波片。 图式简单说明: 图1显示分光元件之灵敏度与波长之关系图; 图2例示本发明第一实施例之光谱量测装置; 图3例示该极化相位延迟元件之作用示意图; 图4例示本发明第二实施例之光谱量测装置; 图5例示本发明第三实施例之光谱量测装置;以及 图6例示本发明第四实施例之光谱量测装置。 |
