发明名称 低温生长砷化镓式半导体可饱和吸收镜
摘要 一种低温生长砷化镓式半导体可饱和吸收镜,其特征在于,其中包括:一半绝缘衬底;一高反膜,在半绝缘衬底的下面镀有高反膜;一缓冲层,该缓冲层制作在半绝缘衬底上;一吸收区,该吸收区制作在缓冲层上;一增透膜,该增透膜制作在吸收区上。本发明可用于波长为一微米附近的固体激光器的被动锁模,实现超短脉冲激光的输出。
申请公布号 CN1728478A 申请公布日期 2006.02.01
申请号 CN200410070110.1 申请日期 2004.07.30
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 王勇刚;马骁宇
分类号 H01S3/098(2006.01);G02B1/02(2006.01) 主分类号 H01S3/098(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1、一种低温生长砷化镓式半导体可饱和吸收镜,其特征在于,其中包括:一半绝缘衬底;一高反膜,在半绝缘衬底的下面制作有高反膜;一缓冲层,该缓冲层制作在半绝缘衬底上,在缓冲层上生长材料质量比直接在衬底上生长的质量要好;一吸收区,该吸收区制作在缓冲层上,起饱和吸收作用;一增透膜,该增透膜制作在吸收区上,和高反膜一起构成输出镜式工作方式。
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