发明名称 |
低温生长砷化镓式半导体可饱和吸收镜 |
摘要 |
一种低温生长砷化镓式半导体可饱和吸收镜,其特征在于,其中包括:一半绝缘衬底;一高反膜,在半绝缘衬底的下面镀有高反膜;一缓冲层,该缓冲层制作在半绝缘衬底上;一吸收区,该吸收区制作在缓冲层上;一增透膜,该增透膜制作在吸收区上。本发明可用于波长为一微米附近的固体激光器的被动锁模,实现超短脉冲激光的输出。 |
申请公布号 |
CN1728478A |
申请公布日期 |
2006.02.01 |
申请号 |
CN200410070110.1 |
申请日期 |
2004.07.30 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
王勇刚;马骁宇 |
分类号 |
H01S3/098(2006.01);G02B1/02(2006.01) |
主分类号 |
H01S3/098(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
1、一种低温生长砷化镓式半导体可饱和吸收镜,其特征在于,其中包括:一半绝缘衬底;一高反膜,在半绝缘衬底的下面制作有高反膜;一缓冲层,该缓冲层制作在半绝缘衬底上,在缓冲层上生长材料质量比直接在衬底上生长的质量要好;一吸收区,该吸收区制作在缓冲层上,起饱和吸收作用;一增透膜,该增透膜制作在吸收区上,和高反膜一起构成输出镜式工作方式。 |
地址 |
100083北京市海淀区清华东路甲35号 |