| 发明名称 | 多种玻璃衬底检查装置及利用该装置的多种玻璃衬底检查方法 | ||
| 摘要 | 本发明披露一种可对多种尺寸的玻璃衬底进行检查的多种玻璃衬底检查的技术。本发明包括：主工作台，配置在平台的上部，包括可安置玻璃衬底的主工作台框架；不少于一个的动力生成部，生成用于调整玻璃衬底位置的动力；位置调整支撑部，连接于动力生成部，并由动力生成部进行移送；位置调整夹具部，安装在位置调整支撑部上、用于夹住玻璃衬底的边缘并调整玻璃衬底的位置；控制部，根据输入的玻璃衬底的尺寸信息，判断玻璃衬底的尺寸，从而控制动力生成部以及位置调整夹具部。 | ||
| 申请公布号 | CN1727880A | 申请公布日期 | 2006.02.01 |
| 申请号 | CN200510000359.X | 申请日期 | 2005.01.10 |
| 申请人 | DE&T株式会社 | 发明人 | 朴鲁宣;李相薰;金铉洙 |
| 分类号 | G01N21/896(2006.01);G01N21/84(2006.01);G01B11/24(2006.01) | 主分类号 | G01N21/896(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 章社杲 |
| 主权项 | 1.一种多种玻璃衬底检查装置，其特征在于包括：主工作台，配置在平台的上部，包括可安置玻璃衬底的主工作台框架；不少于一个的动力生成部，生成用于调整所述玻璃衬底的位置的动力；位置调整支撑部，连接于所述动力生成部，由所述动力生成部进行移送；位置调整夹具部，安装在所述位置调整支撑部上，用于夹住所述玻璃衬底的边缘并调整所述玻璃衬底的位置；及控制部，根据输入的所述玻璃衬底的尺寸信息，判断所述玻璃衬底的尺寸，从而控制所述动力生成部以及所述位置调整夹具部。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||