发明名称 WAFER EDGE EXPOSURE METHOD ON PHOTO-LITHOGRAPHY PROGRESS FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION
摘要
申请公布号 KR20060009673(A) 申请公布日期 2006.02.01
申请号 KR20040058340 申请日期 2004.07.26
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, OOK HYUN
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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