AN APPARATUS FOR ASHING SEMICONDUCTOR WAFER,申请号KR20040057470-传众专利搜索

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发明名称	AN APPARATUS FOR ASHING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号	KR20060009471(A)	申请公布日期	2006.02.01
申请号	KR20040057470	申请日期	2004.07.23
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	LEE, DONG SUN
分类号	H01L21/306	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
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