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发明名称 METHOD OF REPAIRING PHASE SHIFT MASK
摘要
申请公布号 KR20060009443(A) 申请公布日期 2006.02.01
申请号 KR20040057331 申请日期 2004.07.22
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, JEONG YUN;CHOI, SEONG WOON;JANG, IL YONG;AHN, WON SUK;HAN, SUNG JAE
分类号 H01L21/027;B08B3/08;G03F1/32;G03F1/82 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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