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发明名称 METHOD FOR FORMING CONTACTHOLE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060009646(A) 申请公布日期 2006.02.01
申请号 KR20040058310 申请日期 2004.07.26
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 YUN, HEE YONG
分类号 H01L21/28;H01L21/8242 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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