用衍射仪测量等周期多层膜膜厚随机变化量的方法

摘要

本发明涉及多层膜参数测量技术。在X射线衍射仪上测量多层膜，得到记录有反射率或衍射光强及其入射角θ的数据文件；利用一个峰值反射率或两个峰值衍射光强及其入射角θ和衍射级m，再根据多层膜的比值γ、周期数N和单界面反射系数r₁₂，利用公式α/2＝mγπ和如上述公式以及Δd＝Δαλ/4πsinθ计算得到多层膜周期厚度的随机变化量的均方差Δd，完成对多层膜膜厚随机变化量的测量。本发明利用测量多层膜周期厚度时得到的数据文件，利用一个峰值反射率或两个峰值衍射光强及与其相对应的掠入射角θ和衍射级m，根据多层膜的厚度比值γ、周期数N和单界面反射系数r₁₂，就可以得到等周期多层膜膜厚随机变化量的均方差值，解决了背景技术只能计算出多层膜周期厚度的问题。

主权项

1、用衍射仪测量等周期多层膜膜厚随机变化量的方法，其特征在于：a、首先在衍射仪上，利用测量多层膜周期厚度的方法对多层膜进行测量，得到记录有反射率及与其相对应的掠入射角度θ的数据文件；b、寻找步骤a中数据文件的一个峰值反射率R及与其相对应的掠入射角度θ和衍射级m，然后再根据多层膜制备时确定的比值γ、周期数N和单界面反射系数r12，然后利用公式：α/2＝mγπ的得到α/2的数值，将各参数带入公式：$R=r_{12}^{2}4N^2{e}^{-<m^2{\left(\mathrm{\Delta \alpha }\right)}^2>}{\sin }^4(\alpha /2),$ 计算得到Δα的值，最后再利用公式：Δd＝Δαλ/4πsinθ计算得到多层膜周期厚度的随机变化量的均方差Δd，则利用一个峰值反射率完成了对多层膜膜厚随机变化量的测量。