发明名称 集成电路全速电流测试方法
摘要 本发明涉及集成电路测试方法,其步骤包括:第一步,确定测试频率,第二步确定测试波形模式,第三步,确定可测试性测度及其阈值,第四步,测试波形生成,第五步,运行测试。本发明也可以检测一些用逻辑测试方法不可检测的故障,即所谓的冗余故障。测试效率高,适应于大批量集成电路芯片生产线的需要;不需要特别高指标的昂贵的测试仪;故障覆盖率高,适应于国防、航空航天等高可靠芯片的需求。本发明提供了对于高达几个GHz的高频数字CMOS集成电路,直接用其工作频率进行全速电流测试的方法,而测试周期可以灵活地根据测试仪的测试速度而定,可以慢到毫秒级。
申请公布号 CN1239915C 申请公布日期 2006.02.01
申请号 CN03125125.0 申请日期 2003.05.21
申请人 中国科学院计算技术研究所 发明人 闵应骅;邝继顺;牛小燕
分类号 G01R31/28(2006.01);H01L21/66(2006.01) 主分类号 G01R31/28(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 周国城
主权项 1.一种全速电流测试的方法,其步骤包括:第一步(S1),确定测试频率;第二步(S2),确定测试波形模式,采用的全速电流测试波形由两个向量交替输入,即 v1,v2,v1,v2,v1,v2,……其中,v1和v2是两个原始输入向量,即在第一时钟周期输入v1,在第二时钟周期输入v2,在第三时钟周期再输入v1,当v1→v2时,产生瞬态电流(IDDT),达到稳态后,只有静态电流(IDDQ),当v2→v1时,又产生瞬态电流(IDDT),达到稳态后,只有静态电流(IDDQ),多次重复后,测试仪能区别正常电路和故障电路;第三步(S3):确定可测试性测度及其阈值,采用逻辑加权上跳变数估计,定义可测试性测度如下:<math> <mrow> <mi>&Delta;</mi> <mo>=</mo> <mfrac> <msup> <mrow> <mo>(</mo> <msubsup> <mi>N</mi> <mi>ff</mi> <mrow> <msub> <mrow> <mo>{</mo> <mi>v</mi> </mrow> <mn>1</mn> </msub> <mo>,</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>}</mo> </mrow> </msubsup> <mo>+</mo> <msubsup> <mi>N</mi> <mi>ff</mi> <mrow> <mo>(</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>,</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>)</mo> </mrow> </msubsup> <mo>-</mo> <msubsup> <mi>N</mi> <mi>ft</mi> <mrow> <mo>{</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>,</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>}</mo> </mrow> </msubsup> <mo>-</mo> <msubsup> <mi>N</mi> <mi>ft</mi> <mrow> <mo>(</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>,</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>)</mo> </mrow> </msubsup> <mo>)</mo> </mrow> <mn>2</mn> </msup> <mrow> <msubsup> <mi>N</mi> <mi>ff</mi> <mrow> <mrow> <msub> <mrow> <mo>{</mo> <mi>v</mi> </mrow> <mn>1</mn> </msub> <mo>,</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <mo>}</mo> </mrow> </msubsup> <mo>+</mo> <msubsup> <mi>N</mi> <mi>ff</mi> <mrow> <mo>(</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>,</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>)</mo> </mrow> </msubsup> <mo>+</mo> <msubsup> <mi>N</mi> <mi>ft</mi> <mrow> <mo>{</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>,</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>}</mo> </mrow> </msubsup> <mo>+</mo> <msubsup> <mi>N</mi> <mi>ft</mi> <mrow> <mo>(</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>,</mo> <msub> <mi>v</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>)</mo> </mrow> </msubsup> </mrow> </mfrac> </mrow> </math> 其中v1和v2是两个原始输入向量,Nff(v1,v2)and Nft(v1,v2)分别表示(v1,v2)输入到正常电路和故障电路时的逻辑加权上跳变数,而Nff (v2,v1)and Nft(v2,v1)分别表示(v2,v1)输入到正常电路和故障电路时的逻辑加权上跳变数,该可测试性测度Δ是有故障和无故障电路逻辑加权上跳变数的相对差与绝对差之积,当它超过阈值时,各种响应分析方法在测试仪上都能观测到显著变化;第四步(S4)测试波形生成,原始输入的测试波形包括四种元素,即在任意时刻波形可能而且只能取四种值,即0,1,P上跳变,或N下跳变,对输入向量组(v1,v2,v1),利用布尔过程波形模拟器,估计正常电路和故障电路时的逻辑加权上跳变数,计算可测试性测度Δ,如果可测试性测度Δ超过阈值,测试波形即已生成;S5:运行测试,将芯片插入测试仪。
地址 100080北京市中关村科学院南路6号