液晶显示器的阵列基板及其制造方法

摘要

公开了一种液晶显示器的阵列基板及其制造方法，该方法简化了制造工艺，从而降低了制造成本。因为该阵列基板不具有钝化膜，所以简化了工艺。阵列基板上的薄膜晶体管各自都具有有源层，通过干法刻蚀工艺在该有源层上形成沟道绝缘层从而保护该有源层不被污染。此外，选通线、选通焊盘以及栅极可以具有含低电阻金属层和阻挡金属层的双层结构，或者具有含低电阻金属层和两个阻挡金属层的三层结构。

主权项

1、一种制造液晶显示器的阵列基板的方法，该方法包括以下步骤：形成选通线和连接到所述选通线的栅极；形成设置在所述选通线的端部的选通焊盘，该选通焊盘具有栅绝缘层，其中所述栅绝缘层具有接触孔；形成具有数据焊盘的数据线；形成具有源极、有源层以及漏极的薄膜晶体管；在所述有源层的暴露部分上形成沟道绝缘层；形成通过所述接触孔接触所述选通焊盘的透明电极图案；以及形成接触所述漏极的像素电极。