微机械热结构和制造该微机械结构的方法

摘要

本发明涉及一种用于调制光束的微机械热结构和制造该结构的方法。该微机械结构包括两层在第一方向和第二方向上分别具有不同热膨胀系数的材料，第一方向横向于第二方向，并且所述两层包含取向聚合物，所述第一层的取向聚合物的分子指向矢横向于所述第二层的取向聚合物的分子指向矢。这种微机械结构的阵列可以形成用于调制光的热光调制器。该方法包括提供具有定向诱导层的模的步骤，以便在液晶单体的单体状态中获得分子取向，还包括用光致聚合作用固定该分子取向的步骤。

主权项

1.一种微机械热结构，包括 两层在第一方向和第二方向上分别具有不同热膨胀系数的材料， 第一方向横向于第二方向，并且所述两层包含取向聚合物，所述第一 层的取向聚合物的分子指向矢横向于所述第二层的取向聚合物的分子 指向矢。