石英玻璃坩埚及其制造方法

摘要

本发明涉及一种石英玻璃的构造元件，尤指坩埚，而构造元件的基本型体则覆盖了一具有比石英玻璃更高的软化温度的稳定层。基于此，提出一石英玻璃的构造元件，其特征为，高度的机械强度及热强度，并提出一简单且低成本的方法，用以制造该构造元件。针对构造元件，根据本发明的建议，其稳定层(3、6、7、38)的化学成份应与石英玻璃不同，并应以热喷涂方式加以制造。根据本发明所述的方法，其特征为，该与石英玻璃的化学成份不同的稳定层(3、6、7、38)，以热喷涂方式来加以制造。

主权项

1.一种具有高度热稳定性的石英玻璃坩埚，其包括一基本型体，其中至少一部份外表面覆盖有一具有比石英玻璃更高的软化温度的稳定层，其特征为，所述稳定层(3、6、7、38)含有Al2O3及/或莫来石、氧化铪、氧化钽、硅酸锆、稀土族磷酸盐、稀土族氧化物，并具有一范围在50μm至1000μm的覆层厚度，所述稳定层通过热喷涂方式制造。